机电工程技术2021，Vol.50Issue(9)：19-21,178,4.DOI:10.3969/j.issn.1009-9492.2021.09.005
ZnO梁谐振仿真与分析研究
Resonance Simulation and Analysis of ZnO Nanobeam
李经国 1徐鹏飞 1张二帅 1李沛然 1王大志1
作者信息
- 1. 大连理工大学辽宁省微纳米技术与系统重点实验室,辽宁大连 116024
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摘要
关键词
ZnO梁/谐振器/COMSOL/静电激振分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李经国,徐鹏飞,张二帅,李沛然,王大志..ZnO梁谐振仿真与分析研究[J].机电工程技术,2021,50(9):19-21,178,4.
