机电工程技术2021,Vol.50Issue(9):66-68,3.DOI:10.3969/j.issn.1009-9492.2021.09.018
栅极调控纳米通道器件尺寸与调控性能的仿真研究
Simulation Study on the Size and Control Performance of Gate-controlled Nanochannel Devices
刘骁 1张然 1张春鹏 1褚金奎1
作者信息
- 1. 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁大连 116024
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摘要
关键词
COMSOL/栅控/纳米通道/电渗流分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘骁,张然,张春鹏,褚金奎..栅极调控纳米通道器件尺寸与调控性能的仿真研究[J].机电工程技术,2021,50(9):66-68,3.