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栅极调控纳米通道器件尺寸与调控性能的仿真研究

刘骁 张然 张春鹏 褚金奎

机电工程技术2021,Vol.50Issue(9):66-68,3.
机电工程技术2021,Vol.50Issue(9):66-68,3.DOI:10.3969/j.issn.1009-9492.2021.09.018

栅极调控纳米通道器件尺寸与调控性能的仿真研究

Simulation Study on the Size and Control Performance of Gate-controlled Nanochannel Devices

刘骁 1张然 1张春鹏 1褚金奎1

作者信息

  • 1. 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁大连 116024
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摘要

关键词

COMSOL/栅控/纳米通道/电渗流

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

刘骁,张然,张春鹏,褚金奎..栅极调控纳米通道器件尺寸与调控性能的仿真研究[J].机电工程技术,2021,50(9):66-68,3.

机电工程技术

1009-9492

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