机电工程技术2021，Vol.50Issue(9)：84-86,3.DOI:10.3969/j.issn.1009-9492.2021.09.023
PZT纳米梁的制造和压电信号测试
Fabrication and Piezoelectric Signal Measurement of PZT Nanobeam
张二帅 1王大志 1徐鹏飞 1李经国 1李沛然1
作者信息
- 1. 大连理工大学辽宁省微纳米技术与系统重点实验室,辽宁大连 116024
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摘要
关键词
PZT/纳米梁/同轴聚焦/压电测试分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张二帅,王大志,徐鹏飞,李经国,李沛然..PZT纳米梁的制造和压电信号测试[J].机电工程技术,2021,50(9):84-86,3.
