机电工程技术2021，Vol.50Issue(10)：29-32,4.DOI:10.3969/j.issn.1009-9492.2021.10.008
压电PZT薄膜上超细电极的制备
Fabrication and Piezoelectric Signal Measurement of PZT Nanobeam
于舜尧 1崔岩 1王子祥 1李嘉豪 1杨帆 1于昊1
作者信息
- 1. 大连理工大学,辽宁省微纳米技术与系统重点实验室,辽宁大连 116024
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摘要
关键词
PZT/溶胶凝胶法/剥离/超细电极分类
机械制造引用本文复制引用
于舜尧,崔岩,王子祥,李嘉豪,杨帆,于昊..压电PZT薄膜上超细电极的制备[J].机电工程技术,2021,50(10):29-32,4.
