中国标准化Issue(15)：132-135,146,5.DOI:10.3969/j.issn.1002-5944.2021.15.017
半导体材料国内外标准研究进展
Research Progress on Semiconductor Material Standards
摘要
关键词
半导体材料/标准/综述/建议引用本文复制引用
孙朝宁,贺光辉,赵振博,陈程成..半导体材料国内外标准研究进展[J].中国标准化,2021,(15):132-135,146,5.基金项目
本文受广东省重点领域研发计划项目(项目编号:2020B010179002)资助. （项目编号:2020B010179002）
