中国光学2021，Vol.14Issue(6)：1355-1361,7.DOI:10.37188/CO.2021-0054
高精度硅基集成光学温度传感器研究
High-precision silicon-based integrated optical temperature sensor
摘要
关键词
集成光学/温度测量/微环阵列/集成传感器分类
机械制造引用本文复制引用
王艺蒙,舒浩文,韩秀友..高精度硅基集成光学温度传感器研究[J].中国光学,2021,14(6):1355-1361,7.基金项目
国家自然科学基金项目(No.62075026,No.61875028) （No.62075026,No.61875028）
博士后创新人才支持计划(No.BX20200017) （No.BX20200017）
国家级大学生创新训练项目(No.2020101412100010090) （No.2020101412100010090）
