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同步辐射用36单元压电变形镜研制及其面形调控研究

袁德波 许亮 张文斌 周志勇 董晓浩 刘正坤 张国斌

中国光学2021,Vol.14Issue(6):1362-1367,6.
中国光学2021,Vol.14Issue(6):1362-1367,6.DOI:10.37188/CO.2021-0103

同步辐射用36单元压电变形镜研制及其面形调控研究

Development of a 36-element piezoelectric deformable mirror for synchrotron radiation and its surface control ability

袁德波 1许亮 2张文斌 3周志勇 3董晓浩 4刘正坤 1张国斌1

作者信息

  • 1. 中国科学技术大学 国家同步辐射实验室,安徽 合肥 230029
  • 2. 中国科学院 西安光学精密机械研究所,陕西 西安 710119
  • 3. 中国科学院 上海硅酸盐研究所,上海 200050
  • 4. 中国科学院 上海高等研究院,上海 201204
  • 折叠

摘要

关键词

压电变形镜/面形误差/同步辐射/自适应光学

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

袁德波,许亮,张文斌,周志勇,董晓浩,刘正坤,张国斌..同步辐射用36单元压电变形镜研制及其面形调控研究[J].中国光学,2021,14(6):1362-1367,6.

基金项目

国家重点研发计划(No.2016YFA0401004) (No.2016YFA0401004)

中国光学

OA北大核心CSCDCSTPCD

2095-1531

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