磁控溅射后的钼靶材的基础性能研究与再应用开发OACHSSCD
Basic Performance Research and Reapplication Development of Molybdenum Target after Magnetron Sputtering
钼金属具有熔点高、导电导热性好、热膨胀系数低、耐腐蚀性能强及环境友好等优点,利用钼金属加工制备的溅射靶材已广泛应用于电子器件、太阳能电池及玻璃镀膜等领域.随着平面显示器行业和光伏行业的快速发展,钼溅射靶材的需求量越来越大,但目前对被溅射之后的靶材的基础性能研究很少.本文针对溅射后的钼靶材的基础性能做了研究并对其再应用开发进行了总结和讨论.
刘宏亮;白蒙;孙钢涛
金堆城钼业股份有限公司,西安 710077金堆城钼业股份有限公司,西安 710077金堆城钼业股份有限公司,西安 710077
矿业与冶金
溅射靶材晶粒尺寸基础性能再应用开发
《中国资源综合利用》 2021 (10)
66-69,73,5
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