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晶体取向对蓝宝石晶片抛光加工的影响研究

曹霖霖 郭路广 袁巨龙 张翔 吕冰海 马毅 杭伟 赵萍

表面技术2021，Vol.50Issue(11)：339-345,353,8.
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表面技术2021，Vol.50Issue(11)：339-345,353,8.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2021.11.036

晶体取向对蓝宝石晶片抛光加工的影响研究

Study on the Effect of Crystal Orientation on Polishing of Sapphire Wafer

曹霖霖 1郭路广 1袁巨龙 1张翔 1吕冰海 1马毅 2杭伟 1赵萍1

作者信息

  • 1. 浙江工业大学 超精密加工研究中心,杭州 310014
  • 2. 浙江工业大学 机械工程学院,杭州 310014
  • 折叠

摘要

关键词

晶体取向/蓝宝石/抛光/表面粗糙度/材料去除率

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

曹霖霖,郭路广,袁巨龙,张翔,吕冰海,马毅,杭伟,赵萍..晶体取向对蓝宝石晶片抛光加工的影响研究[J].表面技术,2021,50(11):339-345,353,8.

基金项目

国家自然科学基金(51575492,51775508,51805484) （51575492,51775508,51805484）

中国博士后科学基金(2017M621966) （2017M621966）

表面技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-3660

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