表面技术2021，Vol.50Issue(11)：362-371,10.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2021.11.039
晶面对单晶硅高功率绿光飞秒激光加工的影响
Effect of Crystal Orientation on High Power Green Femtosecond Laser Processing of Single Crystal Silicon
张欣 1黄婷 1肖荣诗1
作者信息
- 1. 北京工业大学 材料与制造学部 智能光子制造研究中心,北京 100124
- 折叠
摘要
关键词
单晶硅/晶面取向/飞秒激光/刻蚀/非晶化/电子背散射衍射分类
航空航天引用本文复制引用
张欣,黄婷,肖荣诗..晶面对单晶硅高功率绿光飞秒激光加工的影响[J].表面技术,2021,50(11):362-371,10.
