物理学报2021,Vol.70Issue(22):48-54,7.DOI:10.7498/aps.70.20202011
离子剂量比在气体团簇多级能量平坦化模式中的作用
Effect of ion dose ratio on multilevel energy smoothing model of gas cluster
摘要
关键词
气体团簇离子束/表面平坦化/离子剂量比/多级能量模式/表面粗糙度引用本文复制引用
罗进宝,Vasiliy Pelenovich,曾晓梅,郝中华,张翔宇,左文彬,付德君..离子剂量比在气体团簇多级能量平坦化模式中的作用[J].物理学报,2021,70(22):48-54,7.基金项目
国家自然科学基金(批准号:11875210,U1832127)和广东省自然科学基金(批准号:2018A050506082,2020A1515011531,2020A1515011451)资助的课题. (批准号:11875210,U1832127)