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离子剂量比在气体团簇多级能量平坦化模式中的作用

罗进宝 Vasiliy Pelenovich 曾晓梅 郝中华 张翔宇 左文彬 付德君

物理学报2021,Vol.70Issue(22):48-54,7.
物理学报2021,Vol.70Issue(22):48-54,7.DOI:10.7498/aps.70.20202011

离子剂量比在气体团簇多级能量平坦化模式中的作用

Effect of ion dose ratio on multilevel energy smoothing model of gas cluster

罗进宝 1Vasiliy Pelenovich 1曾晓梅 2郝中华 1张翔宇 1左文彬 1付德君1

作者信息

  • 1. 武汉大学物理科学与技术学院,武汉 430072
  • 2. 武汉大学动力与机械学院,武汉 430072
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摘要

关键词

气体团簇离子束/表面平坦化/离子剂量比/多级能量模式/表面粗糙度

引用本文复制引用

罗进宝,Vasiliy Pelenovich,曾晓梅,郝中华,张翔宇,左文彬,付德君..离子剂量比在气体团簇多级能量平坦化模式中的作用[J].物理学报,2021,70(22):48-54,7.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:11875210,U1832127)和广东省自然科学基金(批准号:2018A050506082,2020A1515011531,2020A1515011451)资助的课题. (批准号:11875210,U1832127)

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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