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SPS烧结及常压热处理对氮化硅热导的影响

王月隆 吴昊阳 贾宝瑞 张一铭 张智睿 刘昶 田建军 秦明礼

真空电子技术Issue(5):58-63,6.
真空电子技术Issue(5):58-63,6.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2021.05.08

SPS烧结及常压热处理对氮化硅热导的影响

Effects of Spark Plasma Sintering and Atmospheric Pressure Heat Treatment on Thermal Conductivity of Silicon Nitride

王月隆 1吴昊阳 1贾宝瑞 1张一铭 1张智睿 1刘昶 1田建军 1秦明礼1

作者信息

  • 1. 北京科技大学新材料技术研究院,北京100083
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摘要

关键词

氮化硅/放电等离子烧结/常压热处理/热导率

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

王月隆,吴昊阳,贾宝瑞,张一铭,张智睿,刘昶,田建军,秦明礼..SPS烧结及常压热处理对氮化硅热导的影响[J].真空电子技术,2021,(5):58-63,6.

基金项目

国家自然科学基金项目(51774035,51604025,51574031,51574030,51574029,51604240) (51774035,51604025,51574031,51574030,51574029,51604240)

河北省重点研究发展项目(20311001D) (20311001D)

北京市自然科学基金项目(2202031,2174079,2162027) (2202031,2174079,2162027)

中央高校基础研究基金(FRF-IDRY-19-025,FRF-TP-20-032A2,FRF-TP-19-002B1,FRF-TP-19-015A3,FRF-TP-19-003C2,FRF-TP-17-034A2) (FRF-IDRY-19-025,FRF-TP-20-032A2,FRF-TP-19-002B1,FRF-TP-19-015A3,FRF-TP-19-003C2,FRF-TP-17-034A2)

USTB-NTUT联合研究项目(06310061) (06310061)

湖南省教育厅科研经费资助项目(18A196) (18A196)

北京科技大学顺德研究生院博士后研究基金项目(2020BH014) (2020BH014)

真空电子技术

1002-8935

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