传感技术学报2021，Vol.34Issue(10)：1360-1365,6.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2021.10.013
一种IDT/(002)ZnO/SiO2/Si多层结构的声表面波器件
A Surface Acoustic Wave Device with IDT/( 002) ZnO/SiO2 /Si Multilayer Structure
摘要
关键词
声表面波/有限元仿真/多层结构/ZnO薄膜/SiO2薄膜分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
朱敏,刘智荣,包文歧,徐才华,谢立强..一种IDT/(002)ZnO/SiO2/Si多层结构的声表面波器件[J].传感技术学报,2021,34(10):1360-1365,6.基金项目
国家自然科学基金面上项目(5197052542) （5197052542）
