测控技术2021，Vol.40Issue(11)：1-10,10.DOI:10.19708/j.ckjs.2021.04.227
硅基与石墨烯基谐振式压力传感器研究进展
Research Progress of Resonant Pressure Sensors Based on Silicon and Graphene
摘要
关键词
压力传感器/谐振式/性能指标/石墨烯/MEMS分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘冠军,徐方松,刘瑛,郑贤德,王钦,邱静..硅基与石墨烯基谐振式压力传感器研究进展[J].测控技术,2021,40(11):1-10,10.基金项目
国家自然科学基金资助项目(5167562) （5167562）
重点实验室基金(6142215200304,6142003190202) （6142215200304,6142003190202）
