测控技术2021，Vol.40Issue(11)：11-15,32,6.DOI:10.19708/j.ckjs.2021.11.002
基于有限元模拟的薄膜热流计结构设计及优化
Structural Design and Optimization of Thin-Film Heat Flux Sensor Based on Finite Element Method
张梅菊 1郭林琪 2黄漫国 3梁晓波 1张丛春 2刘冠华1
作者信息
- 1. 航空工业北京长城航空测控技术研究所先进传感器技术中心,北京101111
- 2. 状态监测特种传感技术航空科技重点实验室,北京101111
- 3. 上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,上海200240
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摘要
关键词
薄膜热流计/有限元/热阻层/温差分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张梅菊,郭林琪,黄漫国,梁晓波,张丛春,刘冠华..基于有限元模拟的薄膜热流计结构设计及优化[J].测控技术,2021,40(11):11-15,32,6.
