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MEMS惯性开关的原理及研究进展

任超 刘峰华 付博 康兴国 丁桂甫 杨卓青

测控技术2021，Vol.40Issue(11)：16-32,17.
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测控技术2021，Vol.40Issue(11)：16-32,17.DOI:10.19708/j.ckjs.2021.02.219

MEMS惯性开关的原理及研究进展

Principle and Recent Progress of MEMS Inertial Switch

任超 1刘峰华 2付博 3康兴国 2丁桂甫 1杨卓青1

作者信息

  • 1. 上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海200240
  • 2. 西安机电信息技术研究所,陕西西安710065
  • 3. 淮海工业集团有限公司MEMS中心,山西长治046012
  • 折叠

摘要

关键词

MEMS惯性开关/物理模型/研究进展/微加工工艺/测试方法

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

任超,刘峰华,付博,康兴国,丁桂甫,杨卓青..MEMS惯性开关的原理及研究进展[J].测控技术,2021,40(11):16-32,17.

基金项目

国家重点研发计划(2020YFB2008503) （2020YFB2008503）

装备预研教育部联合基金(6141A02022424) （6141A02022424）

国家自然科学基金项目(61974088) （61974088）

测控技术

OACSTPCD

1000-8829

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