测控技术2021，Vol.40Issue(11)：48-56,9.DOI:10.19708/j.ckjs.2021.07.252
铂薄膜电阻温度传感器封装研究
Package of Pt Thin Film Resistance Temperature Detector
庞雅文 1张丛春 1雷鹏 1黄漫国 2梁晓波2
作者信息
- 1. 上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海200240
- 2. 航空工业北京长城航空测控技术研究所,北京101111
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摘要
关键词
铂薄膜/电阻温度传感器/封装/TCR/稳定性分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
庞雅文,张丛春,雷鹏,黄漫国,梁晓波..铂薄膜电阻温度传感器封装研究[J].测控技术,2021,40(11):48-56,9.
