测控技术2021，Vol.40Issue(11)：57-63,7.DOI:10.19708/j.ckjs.2021.06.250
SiC晶须和SU-8复合增强的MEMS惯性开关研究
MEMS Inertial Switch with SiC Whisker Reinforced SU-8 Composite Structure
摘要
关键词
MEMS惯性开关/SU-8光刻胶/SiC晶须/阈值加速度分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
郑玮,李亚辉,刘扬,张浩东,杨卓青..SiC晶须和SU-8复合增强的MEMS惯性开关研究[J].测控技术,2021,40(11):57-63,7.基金项目
国家自然科学基金(619744088) （619744088）
国家重点研发计划(2020YFB2008503) （2020YFB2008503）
装备预研教育部联合基金(6141A02022424) （6141A02022424）
