光学精密工程2021，Vol.29Issue(11)：2556-2566,11.DOI:10.37188/OPE.20212911.2556
蓝宝石衬底表面形貌检测和评价系统
Measuring and evaluating system for surface morphology of sapphire substrates
摘要
关键词
仪器科学与技术/蓝宝石衬底/表面形貌/白光干涉技术/检测与评价分类
机械制造引用本文复制引用
崔长彩,杨成,李子清,薛步刚..蓝宝石衬底表面形貌检测和评价系统[J].光学精密工程,2021,29(11):2556-2566,11.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.51575197) （No.51575197）
福建省科技计划项目资助项目(No.2018I0012) （No.2018I0012）
厦门市科技计划资助项目(No.3502Z20173049) （No.3502Z20173049）
