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基于多孔式敏感膜片的MEMS光纤珐珀传感器及其局部放电检测

司文荣 傅晨钊 卜剑 倪鹤立 李浩勇 王谢君 鞠登峰 虞益挺

光学精密工程2021，Vol.29Issue(11)：2613-2621,9.
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光学精密工程2021，Vol.29Issue(11)：2613-2621,9.DOI:10.37188/OPE.20212911.2613

基于多孔式敏感膜片的MEMS光纤珐珀传感器及其局部放电检测

MEMS fiber optic Fabry-Perot sensors based on porous sensing diaphragms and applications for partial discharge detection

司文荣 1傅晨钊 1卜剑 2倪鹤立 1李浩勇 2王谢君 2鞠登峰 3虞益挺2

作者信息

  • 1. 国网上海市电力公司电力科学研究院,上海200437
  • 2. 西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室,陕西西安710072
  • 3. 全球能源互联网研究院有限公司,北京102209
  • 折叠

摘要

关键词

光纤传感/微光机电系统/局部放电/珐珀超声传感器/MEMS敏感膜片

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

司文荣,傅晨钊,卜剑,倪鹤立,李浩勇,王谢君,鞠登峰,虞益挺..基于多孔式敏感膜片的MEMS光纤珐珀传感器及其局部放电检测[J].光学精密工程,2021,29(11):2613-2621,9.

基金项目

国家电网有限公司科技项目(No.52094019000S) （No.52094019000S）

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-924X

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