中国机械工程2021,Vol.32Issue(23):2817-2822,6.DOI:10.3969/j.issn.1004-132X.2021.23.005
激光改性后氮化铝基板的可加工性研究
Research on Machinability of Laser Modified AlN Substrates
摘要
关键词
氮化铝/气体环境/激光功率/扫描间隔/激光改性分类
机械制造引用本文复制引用
陈妮,韦佳伟,张鑫磊,李亮,何宁..激光改性后氮化铝基板的可加工性研究[J].中国机械工程,2021,32(23):2817-2822,6.基金项目
国家自然科学基金(51905270,51975288) (51905270,51975288)
江苏省自然科学基金(BK20180435) (BK20180435)
南京航空航天大学"直升机传动技术重点实验室"开放课题(HTL-0-20G01) (HTL-0-20G01)