北京交通大学学报2021，Vol.45Issue(5)：124-129,6.DOI:10.11860/j.issn.1673-0291.20210025
真空镀膜机用小型磁性液体密封设计
Design of magnetic fluid seal of small vacuum coating machine
摘要
关键词
密封/磁性液体/有限元/真空镀膜机分类
通用工业技术引用本文复制引用
于文娟,李德才,李艳文,张志力,董珈皓..真空镀膜机用小型磁性液体密封设计[J].北京交通大学学报,2021,45(5):124-129,6.基金项目
国家自然科学基金(51735006,U1837206,51927810) （51735006,U1837206,51927810）
北京市自然科学基金(3182013) （3182013）
