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离子注入机专利技术

林琳 张欢乐 李文松

中国新技术新产品Issue(20)：133-135,3.
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中国新技术新产品Issue(20)：133-135,3.

离子注入机专利技术

林琳 1张欢乐 2李文松1

作者信息

  • 1. 科塞尔医疗科技(苏州)有限公司,江苏苏州215163
  • 2. 山西东鹏新材料有限公司,山西运城044000
  • 折叠

摘要

关键词

离子注入机/核心专利/发展趋势

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

林琳,张欢乐,李文松..离子注入机专利技术[J].中国新技术新产品,2021,(20):133-135,3.

中国新技术新产品

1673-9957

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