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单层磨料凝胶抛光垫的加工性能研究

罗求发 陆静 林莹超 俞能跃

表面技术2021，Vol.50Issue(12)：101-110,10.
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表面技术2021，Vol.50Issue(12)：101-110,10.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2021.12.010

单层磨料凝胶抛光垫的加工性能研究

Study on the Processing Property of Monolayer Abrasive Sol-Gel Polishing Pad

罗求发 1陆静 2林莹超 1俞能跃2

作者信息

  • 1. 华侨大学 制造工程研究院,厦门 361021
  • 2. 脆性材料产品智能制造技术国家地方联合工程研究中心,厦门 361021
  • 折叠

摘要

关键词

单层磨料/溶胶凝胶/界面结合强度/抛光垫/碳化硅/加工性能

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

罗求发,陆静,林莹超,俞能跃..单层磨料凝胶抛光垫的加工性能研究[J].表面技术,2021,50(12):101-110,10.

基金项目

国家自然科学基金(51975222,51835004,52005190) （51975222,51835004,52005190）

表面技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-3660

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