表面技术2021，Vol.50Issue(12)：311-319,9.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2021.12.030
脉冲偏压频率对TiSiN/TiAlN纳米多层膜结构和性能的影响规律
Effects of Pulse Bias Frequency on the Microstructure and Properties of TiSiN/TiAlN Nano-Multilayer Films
摘要
关键词
电弧离子镀/纳米多层膜/TiSiN/TiAlN/脉冲偏压频率/纳米硬度分类
矿业与冶金引用本文复制引用
魏永强,游业豪,蒋志强..脉冲偏压频率对TiSiN/TiAlN纳米多层膜结构和性能的影响规律[J].表面技术,2021,50(12):311-319,9.基金项目
国家自然科学基金(51401182) （51401182）
航空科学基金(2016ZE55013) （2016ZE55013）
河南省高等学校重点科研项目指导计划(22B430030) （22B430030）
