金刚石与磨料磨具工程2021，Vol.41Issue(6)：31-37,7.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2021.6.0006
MPCVD法制备金刚石膜的工艺
Preparation technology of diamond film by MPCVD method
摘要
关键词
金刚石膜/微波等离子体化学气相沉积/制备工艺分类
通用工业技术引用本文复制引用
李思佳,冯曙光,郭胜惠,杨黎,高冀芸..MPCVD法制备金刚石膜的工艺[J].金刚石与磨料磨具工程,2021,41(6):31-37,7.基金项目
国家自然科学基金(51864028) （51864028）
云南省应用基础研究计划(2018FA029,2018FD053) （2018FA029,2018FD053）
云南省杰出青年基金(2019FJ005). （2019FJ005）
