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磨料质量分数对磨硅片用金刚石砂轮磨削性能的影响

骆苗地 赵金伟 丁玉龙 苗卫朋 包华 张云鹤

金刚石与磨料磨具工程2021，Vol.41Issue(6)：80-84,5.
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金刚石与磨料磨具工程2021，Vol.41Issue(6)：80-84,5.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2021.6.0014

磨料质量分数对磨硅片用金刚石砂轮磨削性能的影响

Effect of abrasive mass fraction on grinding performance of diamond grinding wheel for grinding silicon wafer

骆苗地 1赵金伟 2丁玉龙 1苗卫朋 1包华 2张云鹤1

作者信息

  • 1. 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司,郑州 450001
  • 2. 超硬材料磨具国家重点实验室,郑州 450001
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摘要

关键词

磨料质量分数/陶瓷结合剂/磨削性能/硅片

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

骆苗地,赵金伟,丁玉龙,苗卫朋,包华,张云鹤..磨料质量分数对磨硅片用金刚石砂轮磨削性能的影响[J].金刚石与磨料磨具工程,2021,41(6):80-84,5.

基金项目

国机集团重大科技专项(SINOMAST-ZDZX-2018-05). （SINOMAST-ZDZX-2018-05）

金刚石与磨料磨具工程

OA北大核心

1006-852X

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