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基于液滴外延法的Al(In)纳米结构在GaAs(001)的形成机制

王一 李志宏 丁召 杨晨 罗子江 王继红 郭祥

人工晶体学报2021,Vol.50Issue(12):2225-2231,7.
人工晶体学报2021,Vol.50Issue(12):2225-2231,7.

基于液滴外延法的Al(In)纳米结构在GaAs(001)的形成机制

Study on the Formation Mechanism of Al( In) Nanostructures on GaAs(001) by Droplet Epitaxy

王一 1李志宏 2丁召 1杨晨 2罗子江 1王继红 2郭祥3

作者信息

  • 1. 贵州大学大数据与信息工程学院,贵阳 550025
  • 2. 教育部半导体功率器件可靠性工程中心,贵阳 550025
  • 3. 贵州省微纳电子与软件技术重点实验室,贵阳 550025
  • 折叠

摘要

关键词

In&Al混合液滴/GaAs/液滴外延/表面扩散/分子束外延/纳米结构

分类

数理科学

引用本文复制引用

王一,李志宏,丁召,杨晨,罗子江,王继红,郭祥..基于液滴外延法的Al(In)纳米结构在GaAs(001)的形成机制[J].人工晶体学报,2021,50(12):2225-2231,7.

基金项目

国家自然科学基金(62065003) (62065003)

贵州省自然科学基金(QKH-[2020]1Y271) (QKH-[2020]1Y271)

教育部半导体功率器件可靠性研究中心开放项目(ERCMEKFJJ2019-(08)) (ERCMEKFJJ2019-(08)

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

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