人工晶体学报2021，Vol.50Issue(12)：2240-2245,6.
PVT法氮化铝晶体铝面、氮面生长对比分析
Growth Comparative Analysis of Aluminum Nitride Crystal by PVT Method on Al Surface and N Surface
史月增 1王增华 2程红娟 1张丽 2殷利迎1
作者信息
- 1. 中国电子科技集团公司第四十六研究所,天津 300220
- 2. 中国电子科技集团公司新型半导体晶体材料技术重点实验室,天津 300220
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摘要
关键词
氮化铝/物理气相传输/铝面生长/氮面生长/迁移能/晶畴分类
数理科学引用本文复制引用
史月增,王增华,程红娟,张丽,殷利迎..PVT法氮化铝晶体铝面、氮面生长对比分析[J].人工晶体学报,2021,50(12):2240-2245,6.
