红外技术2022，Vol.44Issue(1)：P.79-84,6.
Mg和V_(2)O_(5)共溅射制备+4价钒的氧化物薄膜
付学成 1乌李瑛 1权雪玲 1瞿敏妮 1王英1
作者信息
- 1. 上海交通大学先进电子材料与器件校级平台,上海200240
- 折叠
摘要
关键词
共溅射/MgV_(2)O_(5)/电阻温度系数/热敏薄膜分类
通用工业技术引用本文复制引用
付学成,乌李瑛,权雪玲,瞿敏妮,王英..Mg和V_(2)O_(5)共溅射制备+4价钒的氧化物薄膜[J].红外技术,2022,44(1):P.79-84,6.
