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不同抛光方式下InSb晶片表面质量的对比研究
不同抛光方式下InSb晶片表面质量的对比研究
李德香
龚晓霞
张丽霞
袁俊
杨文运
红外技术
2022，Vol.44
Issue(1)：P.85-88,4.
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红外技术
2022，Vol.44
Issue(1)
：P.85-88,4.
不同抛光方式下InSb晶片表面质量的对比研究
李德香
1
龚晓霞
1
张丽霞
1
袁俊
1
杨文运
1
作者信息
1.
昆明物理研究所,云南昆明650223
折叠
摘要
关键词
InSb
/
表面质量
/
抛光
/
氧化层
/
化学机械抛光
/
机械抛光
分类
信息技术与安全科学
引用本文
复制引用
李德香,龚晓霞,张丽霞,袁俊,杨文运..不同抛光方式下InSb晶片表面质量的对比研究[J].红外技术,2022,44(1):P.85-88,4.
红外技术
OA
北大核心
CSCD
CSTPCD
ISSN：
1001-8891
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