传感技术学报2021，Vol.34Issue(11)：1421-1426,6.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2021.11.001
一种应用于MEMS频率基准的CMOS温度传感器
A CMOS Temperature Sensor for MEMS Frequency Reference
摘要
关键词
MEMS振荡器温度补偿/CMOS温度传感器/文氏电桥/相位域delta-sigma调制器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
廖轰,马世月,郑慧臻,王科平..一种应用于MEMS频率基准的CMOS温度传感器[J].传感技术学报,2021,34(11):1421-1426,6.基金项目
国家自然科学基金项目(61774035) （61774035）
江苏省自然科学基金项目(BK20191260) （BK20191260）
