光学精密工程2021，Vol.29Issue(12)：2818-2831,14.DOI:10.37188/OPE.20212912.2818
微电容器的研究进展:从制备工艺到发展趋势
Research progress of microcapacitors: from preparation technology to development trend
摘要
关键词
电容器/固态微型电容器/微型超级电容器/3D硅基电容器/电极结构/性能指标分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
熊藜,胡晋,杨曌,张冠华..微电容器的研究进展:从制备工艺到发展趋势[J].光学精密工程,2021,29(12):2818-2831,14.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.51702095) （No.51702095）
湖南省自然科学基金资助项目(No.2018JJ3041) （No.2018JJ3041）
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(No.531118010016) （No.531118010016）
