光学精密工程2022，Vol.30Issue(1)：71-77,7.DOI:10.37188/OPE.2021.0477
离心法曲面涂胶的胶层厚度研究
Research on resist-layer thickness by spin-coating on curved substrate
摘要
关键词
电子束曝光/离心涂胶/非牛顿流体/胶层厚度/曲面分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
解孟涛,刘俊标,王鹏飞,张利新,韩立..离心法曲面涂胶的胶层厚度研究[J].光学精密工程,2022,30(1):71-77,7.基金项目
中国科学院科研仪器设备研制项目(No.GJJSTD20200003) （No.GJJSTD20200003）
广东省重点领域研发计划资助项目(No.2020B0101320002) （No.2020B0101320002）
