| 注册
首页|期刊导航|光学精密工程|高频激光对化学气相沉积金刚石的大切深实验

高频激光对化学气相沉积金刚石的大切深实验

王吉 章鹏 张天润 曹小文 张文武

光学精密工程2022,Vol.30Issue(1):89-95,7.
光学精密工程2022,Vol.30Issue(1):89-95,7.DOI:10.37188/OPE.20223001.0089

高频激光对化学气相沉积金刚石的大切深实验

Experiments of high frequency laser cutting of chemical vapor deposition diamond with large cutting depth

王吉 1章鹏 1张天润 2曹小文 1张文武1

作者信息

  • 1. 中国科学院宁波材料技术与工程研究所,浙江宁波315201
  • 2. 宁波大艾激光科技有限公司,浙江宁波315201
  • 折叠

摘要

关键词

激光切割/化学气相沉积金刚石/高频激光/缝宽/切深/表面粗糙度

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王吉,章鹏,张天润,曹小文,张文武..高频激光对化学气相沉积金刚石的大切深实验[J].光学精密工程,2022,30(1):89-95,7.

基金项目

国家自然科学基金青年基金资助项目(No.51805525) (No.51805525)

浙江省重点研发项目(No.2020C01036) (No.2020C01036)

宁波市2025科技重大专项(No.2019B10074) (No.2019B10074)

宁波市自然科学基金资助项目(No.2021J215) (No.2021J215)

光学精密工程

OA北大核心

1004-924X

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文