光学精密工程2022,Vol.30Issue(1):89-95,7.DOI:10.37188/OPE.20223001.0089
高频激光对化学气相沉积金刚石的大切深实验
Experiments of high frequency laser cutting of chemical vapor deposition diamond with large cutting depth
摘要
关键词
激光切割/化学气相沉积金刚石/高频激光/缝宽/切深/表面粗糙度分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王吉,章鹏,张天润,曹小文,张文武..高频激光对化学气相沉积金刚石的大切深实验[J].光学精密工程,2022,30(1):89-95,7.基金项目
国家自然科学基金青年基金资助项目(No.51805525) (No.51805525)
浙江省重点研发项目(No.2020C01036) (No.2020C01036)
宁波市2025科技重大专项(No.2019B10074) (No.2019B10074)
宁波市自然科学基金资助项目(No.2021J215) (No.2021J215)