测试技术学报2022，Vol.36Issue(1)：73-79,7.DOI:10.3969/j.issn.1671-7449.2022.01.013
基于近场技术的微纳尺度热物性测量系统空间分辨率增强
Spatial Resolution Enhancement Technique for Micro-Nano Size Thermophysical Measurement System Based on Near Field Optic
摘要
关键词
近场探针/时域热反射/空间分辨率/微纳尺度热物性/界面热阻分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘燕,张超,郑利兵,王大正,孙方远,刘珠明..基于近场技术的微纳尺度热物性测量系统空间分辨率增强[J].测试技术学报,2022,36(1):73-79,7.基金项目
国家重点研发计划资助项目(2020YFB2008602) （2020YFB2008602）
中国科学院科研装备研制资助项目(YZ201606) （YZ201606）
广东省"2018GDASCX-0112第三代半导体高端枢纽平台建设""半导体器件温度表征和微纳尺度材料热物性测量平台(2020GDASYL-20200102024) （2020GDASYL-20200102024）
"精度大扫描场电子束复合聚焦偏转系统研制(2020B0101320002) （2020B0101320002）
国家自然科学基金资助项目(51720105007) （51720105007）
中央高校基本科研业务费资助项目(FRF-BD-20-09A) （FRF-BD-20-09A）
