首页|期刊导航|计量学报|一种对在片测量系统中串扰误差进行修正的新型校准方法

一种对在片测量系统中串扰误差进行修正的新型校准方法

王一帮吴爱华刘晨梁法国栾鹏霍晔孙静赵伟

计量学报2021，Vol.42Issue(12)：1553-1558,6.

计量学报2021，Vol.42Issue(12)：1553-1558,6.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2021.12.01

A Novel Calibration Method at On-Wafer Measurement System Affected by Leakage

王一帮 ¹吴爱华 ¹刘晨 ¹梁法国 ¹栾鹏 ¹霍晔 ¹孙静 ¹赵伟²

作者信息

计量学/在片S参数/16项误差模型/串扰/SOLR

通用工业技术

王一帮,吴爱华,刘晨,梁法国,栾鹏,霍晔,孙静,赵伟..一种对在片测量系统中串扰误差进行修正的新型校准方法[J].计量学报,2021,42(12):1553-1558,6.

国家重点研发计划重大科学仪器设备开发专项(2016YFF0102105) （2016YFF0102105）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1000-1158

访问量0

下载量0

段落导航