计量学报2021，Vol.42Issue(12)：1571-1578,8.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2021.12.04
基于反向共轴的大口径平面光学元件面形测量
Surface Measurement Method Based on Reverse Coaxial Mode for Large Aperture Plane Optical Elements
摘要
关键词
计量学/面形测量/光学元件/大口径平面/反向共轴/双位移传感器/三面互检分类
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赵彦龙,李加福,朱小平,杜华,陈爱军,胡佳成..基于反向共轴的大口径平面光学元件面形测量[J].计量学报,2021,42(12):1571-1578,8.基金项目
国家市场监督管理总局质量技术基础能力建设专项(ANL1822) （ANL1822）
重大科学仪器设备开发重点专项(24-YQKFB1803-1) （24-YQKFB1803-1）
