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磁控溅射法制备Er2O3薄膜及其力学性能研究

曹潆心吴宝珍杨朝明杨恒明罗栋威薛锐汪渊

四川大学学报（自然科学版）2022，Vol.59Issue(1)：121-126,6.

四川大学学报（自然科学版）2022，Vol.59Issue(1)：121-126,6.DOI:10.19907/j.0490-6756.2022.014002

Preparation of Er2O3 film by magnetron sputtering and its mechanical properties

曹潆心 ¹吴宝珍 ¹杨朝明 ¹杨恒明 ¹罗栋威 ¹薛锐 ¹汪渊¹

作者信息

Er2O3薄膜/表面纳米化/膜基结合力

数理科学

曹潆心,吴宝珍,杨朝明,杨恒明,罗栋威,薛锐,汪渊..磁控溅射法制备Er2O3薄膜及其力学性能研究[J].四川大学学报（自然科学版）,2022,59(1):121-126,6.

国家自然科学基金(1177515) （1177515）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：0490-6756

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