太阳能Issue(1)：40-44,5.DOI:10.19911/j.1003-0417.tyn20201010.01
管式PECVD法沉积的SiyNx/SiOxNy叠层膜的研究
STUDY ON SiyNx/SiOxNy LAMINATED FILM DESPOSITED BY TUBULAR PECVD METHOD
王贵梅 1许志卫 1靳迎松 1朱少杰 1王少丽1
作者信息
摘要
关键词
管式PECVD/氮氧化硅薄膜/氮化硅薄膜/SiyNx/SiOxNy叠层膜/太阳电池/短波响应/抗PID性能分类
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王贵梅,许志卫,靳迎松,朱少杰,王少丽..管式PECVD法沉积的SiyNx/SiOxNy叠层膜的研究[J].太阳能,2022,(1):40-44,5.
