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光纤基底TiNi形状记忆合金薄膜制备工艺

党俊坡 江秀娟 唐振华

物理学报2022，Vol.71Issue(3)：72-81,10.
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物理学报2022，Vol.71Issue(3)：72-81,10.DOI:10.7498/aps.71.20211437

光纤基底TiNi形状记忆合金薄膜制备工艺

Technique of TiNi-based shape memory alloy thin film coating on optical fibers

党俊坡 1江秀娟 1唐振华2

作者信息

  • 1. 广东工业大学机电工程学院,广州 510006
  • 2. 广东工业大学物理与光电工程学院,广州 510006
  • 折叠

摘要

关键词

光纤/TiNi薄膜/磁控溅射/工艺参数

引用本文复制引用

党俊坡,江秀娟,唐振华..光纤基底TiNi形状记忆合金薄膜制备工艺[J].物理学报,2022,71(3):72-81,10.

基金项目

广东省自然科学基金(批准号:2019A1515011229,2018A030313315)资助的课题. （批准号:2019A1515011229,2018A030313315）

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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