中国机械工程2022，Vol.33Issue(1)：2-14,23,14.DOI:10.3969/j.issn.1004-132X.2022.01.001
微纳系统微区感应加热技术的研究进展
Research Progresses of Micro-area Induction Heating Technology in Micro/Nano Systems
摘要
关键词
感应加热/局部加热/微系统/封装分类
机械制造引用本文复制引用
吴德志,陈卓,海振银,陈亮,叶坤,王凌云,赵立波..微纳系统微区感应加热技术的研究进展[J].中国机械工程,2022,33(1):2-14,23,14.基金项目
国家自然科学基金(52075464,91648114) （52075464,91648114）
航空科学基金(20180868002) （20180868002）
