物理化学学报2022,Vol.38Issue(1):36-51,16.DOI:10.3866/PKU.WHXB202101053
气相反应对CVD生长石墨烯的影响
Effect of Gas-Phase Reaction on the CVD Growth of Graphene
摘要
关键词
石墨烯薄膜/化学气相沉积/气相反应/高品质/可控制备分类
化学化工引用本文复制引用
陈恒,张金灿,刘晓婷,刘忠范..气相反应对CVD生长石墨烯的影响[J].物理化学学报,2022,38(1):36-51,16.基金项目
国家重点基础研究发展规划项目(2016YFA0200103,2018YFA0703502),国家自然科学基金(51520105003,52072042),北京分子科学国家研究中心(BNLMS-CXTD-202001)和北京市科学技术委员会(Z18110300480001,Z18110300480002)资助 (2016YFA0200103,2018YFA0703502)