真空电子技术Issue(6)：29-33,73,6.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2021.06.05
大气压微波氩等离子体分子离子特性数值研究
Numerical Analysis of the Characteristics of Molecular Ion in Microwave Argon Plasma at Atmospheric Pressure
谢芹 1申庆浩 1鄢雪晴1
作者信息
- 1. 四川大学电子信息学院,四川成都610065
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摘要
关键词
微波等离子体/大气压/分子离子/电子密度分类
数理科学引用本文复制引用
谢芹,申庆浩,鄢雪晴..大气压微波氩等离子体分子离子特性数值研究[J].真空电子技术,2021,(6):29-33,73,6.
