真空电子技术Issue(6)：34-37,4.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2021.06.06
含氮量与微波频率对微波等离子体活性粒子的影响
Effects of Nitrogen Concentration and Microwave Frequency on Active Particles in Microwave-Induced Plasma
摘要
关键词
含氮量/微波频率/等离子体活性粒子分类
数理科学引用本文复制引用
余洁,陈久元,吴丽..含氮量与微波频率对微波等离子体活性粒子的影响[J].真空电子技术,2021,(6):34-37,4.基金项目
四川省科技计划项目(2018HH0107) （2018HH0107）
国家自然科学基金青年基金项目(61801313) （61801313）
