计量学报2022，Vol.43Issue(1)：97-101,5.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2022.01.15
在片LRRM校准算法研究
Research for On-Wafer LRRM Calibration Algorithm
摘要
关键词
计量学/在片散射参数/LRRM校准算法/测量模型/校准软件引用本文复制引用
霍晔,梁法国,吴爱华,王一帮,栾鹏,刘晨,孙静..在片LRRM校准算法研究[J].计量学报,2022,43(1):97-101,5.基金项目
国家重点仪器研发专项(2017YFF0106706) （2017YFF0106706）
国家国防科技工业局技术基础(JSJL2019210B005) （JSJL2019210B005）
