机电工程技术2022，Vol.51Issue(1)：9-11,57,4.DOI:10.3969/j.issn.1009-9492.2022.01.003
微型压电厚膜执行器的仿真与实验研究
Simulation and Experimental Research on Microscale Piezoelectric Thick Film Actuator
袁钰恒 1赵奎鹏 1宗浩然 1王大志1
作者信息
- 1. 大连理工大学辽宁省微纳米技术与系统重点实验室,辽宁大连 116024
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摘要
关键词
压电执行器/PZT厚膜/ANSYS仿真/电流体喷射打印分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
袁钰恒,赵奎鹏,宗浩然,王大志..微型压电厚膜执行器的仿真与实验研究[J].机电工程技术,2022,51(1):9-11,57,4.
