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高温溶液法生长SiC单晶的研究进展

王国宾 李辉 盛达 王文军 陈小龙

人工晶体学报2022,Vol.51Issue(1):3-20,18.
人工晶体学报2022,Vol.51Issue(1):3-20,18.

高温溶液法生长SiC单晶的研究进展

Research Progress on the Growth of SiC Single Crystal via High Temperature Solution Growth Method

王国宾 1李辉 2盛达 1王文军 1陈小龙2

作者信息

  • 1. 中国科学院物理研究所,北京 100190
  • 2. 中国科学院大学,北京 100049
  • 折叠

摘要

关键词

宽禁带半导体/碳化硅/高温溶液法/顶部籽晶溶液法/助熔剂/晶体生长

分类

数理科学

引用本文复制引用

王国宾,李辉,盛达,王文军,陈小龙..高温溶液法生长SiC单晶的研究进展[J].人工晶体学报,2022,51(1):3-20,18.

基金项目

北京市科技计划项目(Z201100004020003,Z161100002116018,Z211100004821004) (Z201100004020003,Z161100002116018,Z211100004821004)

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

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