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籽晶台形状对PVT法同质外延生长氮化铝单晶初始生长的影响

张刚 付丹扬 李哲 黄嘉丽 王琦琨 任忠鸣 吴亮

人工晶体学报2022，Vol.51Issue(1)：27-34,8.
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人工晶体学报2022，Vol.51Issue(1)：27-34,8.

籽晶台形状对PVT法同质外延生长氮化铝单晶初始生长的影响

Effects of Seed-Holder Shape on the Initial Growth of AlN Single Crystals by Homoepitaxial PVT Method

张刚 1付丹扬 1李哲 1黄嘉丽 2王琦琨 2任忠鸣 1吴亮2

作者信息

  • 1. 上海大学材料科学与工程学院,上海市钢铁冶金新技术开发应用重点实验室,省部共建高品质特殊钢冶金与制备国家重点实验室,上海 200072
  • 2. 奥趋光电技术(杭州)有限公司,杭州 311199
  • 折叠

摘要

关键词

氮化铝/物理气相传输法/同质外延生长/籽晶台/数值模拟/过饱和度/温度梯度

分类

数理科学

引用本文复制引用

张刚,付丹扬,李哲,黄嘉丽,王琦琨,任忠鸣,吴亮..籽晶台形状对PVT法同质外延生长氮化铝单晶初始生长的影响[J].人工晶体学报,2022,51(1):27-34,8.

基金项目

国家自然科学基金(61874071) （61874071）

浙江省重点研发计划(2020C01145) （2020C01145）

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

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