磷/硼共掺杂纳米硅的微观结构与光电性质OA北大核心CSTPCD
Microstructure and Optical-Electrical Properties of Phosphorus/Boron Co-Doped Silicon Nanocrystals
采用射频(RF)等离子体增强化学气相沉积系统制备了硅/二氧化硅多层膜样品,在异质结限制性晶化作用下得到了尺寸均匀的磷/硼共掺杂纳米硅.通过拉曼光谱(Raman)、透射电镜(TEM)和X射线光电子能谱(XPS)研究了磷/硼共掺杂纳米硅/二氧化硅多层膜的微观结构和杂质的分布特点.低温电子顺磁共振(EPR)结果表明,磷、硼杂质可以改变纳米硅的表面化学结构并充分钝化表面处的非辐射复合缺陷.Hall效应测试发现磷和硼杂质可替位式地掺入到纳米硅的内部,且磷杂…查看全部>>
李东珂;陈佳明;孙腾;翟章印;陈贵宾
淮阴师范学院物理与电子电气工程学院,淮安 223300南京大学电子科学与工程学院,固体微结构物理国家重点实验室,南京 210023南京大学电子科学与工程学院,固体微结构物理国家重点实验室,南京 210023南京大学电子科学与工程学院,固体微结构物理国家重点实验室,南京 210023淮阴师范学院物理与电子电气工程学院,淮安 223300
数理科学
纳米硅掺杂微结构电子顺磁共振霍尔效应光致发光光电性质
《人工晶体学报》 2022 (1)
35-41,7
江苏省自然科学基金(BK20201073)中国博士后科学基金(2020M671438)江苏省博士后科研资助计划(2020Z269)江苏省高校自然科学研究项目(20KJB510017,19KJA150011,18KJA140001)淮安市自然科学研究计划(HAB201909)
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